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在國標《GB11354-2005鋼鐵零件滲碳層深度測定和金相組織檢驗》中是這樣規定用維氏硬度計測滲氮層深度的標準：1、試樣的切取，?試樣應從滲氮零件上切取，也可用與零件的材料、處理條件、加工精度相同，并經同爐滲氮處理的試樣。?檢測部位應有代表性，試樣應垂直于滲氮層表面切取。

維氏硬度計簡介維氏硬度計的試驗力比較多，因此維氏硬度計的應用也比較廣泛。其它硬度計能測的材料或工件，只要工件表面的粗糙度符合標準，維氏硬度計都可以檢測。維氏硬度計通過步進電機，對工件表面進行打壓，之后再由讀數顯微鏡測量壓痕的對角線的長度。之后利用對角線及試驗力的一個換算關系來測得維氏硬度。