維氏硬度計用于較薄的維氏硬度值測量，采用正四棱錐體金剛石壓頭，光化學反應儀在試驗力作用下壓入試樣表面，保持規定時間后，卸除試驗力，測量試樣表面壓痕對角線長度。?

臺式維氏硬度計試驗的壓痕是正方形，輪廓清晰，對角線測量準確，因此維氏硬度試驗是常用硬度試驗方法中精度最高的，同時它的重復性也很好，這一點比布氏硬度優越。
維氏硬度計試驗測量范圍寬廣，可以測量目前工業上所用到的幾乎全部金屬材料，從很軟的材料(幾個維氏硬度單位)到很硬的材料(3000個維氏硬度單位)  
玻璃管液位計都可測量。  
維氏硬度計試驗最大的優點在于其硬度值與試驗力的大小無關，只要是硬度均勻的材料，可以任意選擇試驗力，其硬度值不變。
這就相當于在一個很寬廣的硬度范圍內具有一個統一的標尺，這一點又比洛氏硬度試驗來得優越。  
在中、低硬度值范圍內，在同一均勻材料上，維氏硬度試驗和布氏硬度試驗結果會得到近似的硬度值，維氏硬度計試驗的試驗力可以小到10gF，壓痕非常小，特別適合測試薄小材料。